FZ-GD抛光片
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直径(mm)

76.2 - 200

直径公差(mm)

X±0.3

导电类型/掺杂剂

N型/P型

晶向

＜111＞、＜100＞

电阻率范围（Ω.cm）

10～3000

径向电阻率变化（%）

≤20% （五点法）

氧含量(at cm-3 )

≤1×1016

碳含量(at cm-3 )

≤2×1016

厚度及公差(um)

根据客户要求

其他参数：

按SEMI标准或客户要求

关键词：

FZ-GD抛光片

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