CZ 腐蚀片
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直径(mm)

76.2-200

直径公差(mm)

X±0.3

导电类型/掺杂剂

N型/P型

晶向

＜111＞、＜100＞

电阻率范围（Ω.cm）

0.001～70

径向电阻率变化（%）

≤18% （五点法）

氧含量(at cm-3 )

≤1×1018

碳含量(at cm-3 )

≤5×1016

厚度及公差(um)

根据客户要求

其他参数

按SEMI标准或客户要求

关键词：

CZ 腐蚀片

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