产品分类
产品描述
参数
|
直径(mm) |
76.2-150 |
|
直径公差(mm) |
X±0.2 |
|
导电类型/掺杂剂 |
N型/Ph、P型/B |
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晶向 |
<111> 、<100> |
|
电阻率范围(Ω.cm) |
0.001-60 |
|
径向电阻率变化(%) |
N型＜18% P型≤10% |
|
氧含量(at cm-3 ) |
≤1×1018 |
|
碳含量(at cm-3 ) |
≤5×1016 |
|
厚度及公差(um) |
根据客户要求 |
|
其他参数 |
按SEMI标准或客户要求 |
关键词：:
CZ/MCZ硅研磨片
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