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CZ硅抛光片

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CZ硅抛光片

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产品分类：硅片系列

研磨片运用领域较广，如光通信领域、微型电机领域、硬盘领域等。

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1

产品描述

参数

直径(mm)	76.2-150
直径公差(mm)	X±0.3可根据客户要求调整
导电类型/掺杂剂	N型/Ph/As/Sb、P型/B
晶向	<111>、<100>
电阻率范围(Ω.cm)	0.001-60
径向电阻率变化(%)	N型≤18% P型≤10%
氧含量(at cm^-3)	≤1×10¹⁸
碳含量(at cm^-3 )	≤5×10¹⁶
厚度及公差(um)	根据客户要求
颗粒度	根据客户要求
其他参数	按SEMI标准或客户要求
表面状态	单面抛光或双面抛光

CZ硅抛光片

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CZ硅抛光片

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