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美国发明专利完整版

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EP3493266

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一种具有三维结构的半导体晶圆

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一种具有三维结构的快回复二极管结构

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一种节能型空气压缩机

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一种适用于BJT和VDMOS芯片制造的三维半导体衬底晶圆及其制备方法

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一种适用于半自动单晶硅片酸腐蚀的新型腐蚀槽

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一种适用于单晶硅片酸腐蚀的新型腐蚀架

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一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机

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一种用于三维半导体生产工艺的新型负压操作台

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一种真空干燥箱

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一种半导体硅片间距调整装置

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一种适用于单晶硅片碱腐蚀的装置

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一种带智能风干功能的研磨机

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一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置

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一种适用于半导体硅片清洗的新型清洗架结构

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